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日本大型半导体制造设备企业爱发科推出半导体设备耐腐蚀处理服务

日本大型半导体制造设备企业爱发科（ULVAC）已开始提供可提高半导体和显示器生产设备良品率（合格率）和耐久性的表面处理服务。通过特殊保护膜，防止真空设备的内壁或零部件受到腐蚀，不易排放出含有微尘和杂质的气体。爱发科计划面向最尖端半导体制造等领域开拓需求。

责任编辑：薛永玮

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